Дата и время

Ионно-плазменные установки серии "Яшма"


Установки серии "Яшма" предназначены для производства изделий с модифицированными поверхностными свойствами в результате воздействия потоков распыленных частиц и ускоренных ионов.установки могут быть использованы как для научных исследований, так и в промышленном производстве. Установки данной серии сочетают в себе магнетронные источники плазмы, нагреватель, источник ионов для очистки поверхности, имплантер, средства контроля за состоянием плёнки.
Slide 1
Установка АРМ НТП 2 на производстве
Slide 3
Установка АРМ НТП 2 на производстве
Slide 2
Установка "Яшма-5" на производстве
Slide 3
Установка "Яшма-5" на производстве
Slide 3
Система управления


Особенности установки

Технические характеристики


Параметр Величина
Объем РК, м3 0.27
Объем шлюзовой камеры, м3 0.11
Максимальный размер шлюзования, мм 500x500x350
Предельное остаточное давление рабочей камеры, Па 5x10м-4
Скорость перемещения рабочего стола, мм/с 2 – 30
Напряжение питания магнетронов, В 100 – 750
Максимальный ток магнетронного разряда, А 15
Ускоряющее напряжение источника очистки, кВ 2
Ток ионного пучка, А 0.1-2
Ускоряющее напряжение ионного имплантера, кВ 10 – 40
Ток ионного пучка, мА 10 – 45
Диаметр ионного пучка, мм 200
Размер катодов магнетронов, мм 100x700
Материал катода Немагнитные металлы и сплавы
Вид ускоряемых ионов Газовые
Число каналов подачи рабочего газа, шт. 3
Напряжение питающей сети 3 фазы, 50,60 Гц, В 380xsq220
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт 40
Расход охлаждающей воды, м3/час 0.54
Расход рабочего газа, л/час 1-3
Расход жидкого азота криогенной ловушки (в установленном режиме), л/час 1

Габаритные размеры, в плане:
1 Вакуумная камера (без высоковакуумного агрегата), мм
2 Шкафы управления, мм

3 Стойка «Вишня-1», мм

2700 x 850
800 x 1600
560 x 560
Высота:
1. Вакуумная камера, мм
2. Шкафы управления, мм
3. Стойка «Вишня-1», мм
2150
2200
1000
24. Масса установки, кг 1200
25. Установочная площадь с зоной обслуживания, м2 20
Работа "Новая промышленная радиационная установка для нанесения многослойных теплоотражающих покрытий на поверхность космических летательных аппарторв АРМ НТП-2" признана научным советом РАН по проблеме "Радиационная физика твердого тела" важнейшим результатом в 2007 году.