Дата и время

Ионно-плазменные установки серии АРМ УВК


Установки серии АРМ УВК предназначены для производства радиотехнических, терморегулирующих и многофункциональных покрытий на рулонных полимерых пленках в лентопротяжном устройстве ил на охлаждаемом барабане.

Конструкция установки обеспечивает следующие режимы обработки:

Slide 1
Установка АРМ УВК-1 на производстве
Slide 2
Установка АРМ УВК-2 на производстве
Slide 3
Лентопротяжный механизм на установке АРМ УВК-2

В плоской камере осуществляется перемещение магнетронов, в цилиндрической - перемещение напыляемой поверхности относительно неподвижных магнетронов.

Технологии, к которым адаптирована установка в состоянии поставки, перечислены ниже:

Пример использования защитной пленки на поверхностях спутников



Основные технические характеристики установки АРМ УВК


Параметр Величина
Объём плоской рабочей камеры, м3 1,94
Объём цилиндрической рабочей камеры, м3 3,35
предельное остаточное давление рабочих камер, Па 1,33x10-3
Скорость перемещения магнетронов в плоской камере, мм/с 2 – 30
Напряжение питания магнетронов, В 100 – 750
максимальный ток магнетронного разряда, А  
Ускоряющее напряжение источника очистки, кВ 2
Размер катодов магнетронов, мм 700x100
Материал катодов Токопроводные, немагнитные композиции, металлы и сплавы
Вид ускоряемых ионов Газовые
Число каналов подачи рабочего газа, шт. по 2
Напряжение питания сети, В 380 – 220
Максимальная потребляемая мощность, кВт 40
Расход охлаждающей воды, м3/час 0,5
Расход рабочего газа, л/час 5 – 7
Габаритные размеры в плане, мм 4500x3000
Масса установки, кг 3700

Основные технические характеристики установки АРМ УВК 2


параметры величина
Объем РК, м3 6,18
Предельное остаточное давление рабочей камеры, Па 5×10-4
Скорость вращения барабана, об/мин. 1- 95
Напряжение питания магнетронов, В 100 - 750
Максимальный ток магнетронного разряда, А 15
Размер мишени (катода) планарных магнетронов, мм 100×700
Ускоряющее напряжение источника очистки, кВ 2
Ускоряемые ионы Газовые
Напряжение питающей сети, 3 фазы, 50,60 Гц, В 380
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт 60
Расход охлаждающей воды, м3/час 0,5
Расход рабочего газа, л/час, не более 9
Габаритные размеры 6000 x 3500
Масса установки, кг 2500
Работа "Установка для радиационной и плазменной обработки материалов и конструкционных элементов космических летательных аппаратов АРМ УВК" признана научным советом РАН по проблеме "Радиационная физика твердого тела" важнейшим результатом в 2010г.