Дата и время

Ионно-плазменная установка КО МКР

Автоматизированная вакуумная ионно-плазменная установка для металлизации крупногабаритных рефлекторов КО МКР предназначена для нанесения радиоотражающего покрытия на поверхность рефлекторов наземного и космического базирования диаметром до 3000 мм и стрелой прогиба до 1000 мм. Установка имеет рабочую камеру виде цилиндра диаметром 3500 мм, расположенного горизонтально, с двумя торосферическими крышками.
Установка имеет рабочую камеру виде цилиндра диаметром 3500 мм, расположенного горизонтально, с двумя торосферическими крышками. Корпус вакуумной камеры и внутрикамерная оснастка выполнены из нержавеющей стали.
Slide 1
Установка КО МКР на рабочем месте
Slide 2
Система управления
Slide 3
Загрузка рефлектора
Slide 4
Установка в сборочном цехе

Основные технические характеристики установки КО МКР


Объем рабочей камеры, м3
22
Предельное остаточное давление рабочей камеры, Па
5.0x10-4
Напряжение питания магнетронов, В
100 - 800
Максимальный ток магнетронного разряда, А
15
Диаметр мишени (катода) круглых магнетронов, мм
250
Максимальный размер шлюзования, мм
500 x 500 х 350
Размер мишени (катода) планарных магнетронов, мм
100x700
Количество круглых магнетронов: -круглых -планарных
3 шт. 9 шт
Количество ионных источников
3 шт.
Число каналов подачи рабочего газа, шт.
3
Напряжение питающей сети, 3 фазы, 50,60 Гц, В
380
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт
106,3
Расход охлаждающей воды, м3/час
1,8
Расход рабочего газа, л/час, макс.
9
Габаритные размеры, в плане: Вакуумная камера с насосами, мм Шкафы управления, мм
6800 x 4000 800 x 600 800 x 900
Высота: Вакуумная камера, мм Шкафы управления, мм
4000 2200
Масса установки, кг
6000
Установочная площадь с зоной обслуживания, м2
60

Дополнительная информация


  • Максимальный диаметр подложки - 3000 мм, стрела прогиба - 1000 мм.
  • Установка имеет рабочую камеру виде цилиндра диаметром 3500 мм, расположенного горизонтально, с двумя торосферическими крышками. Корпус вакуумной камеры и внутрикамерная оснастка выполнены из нержавеющей стали.
  • Передняя крышка камеры отъезжает от корпуса и поворачивается в горизонтальное положение. По команде оператора она автоматически возвращается в исходное положение, пневмоцилиндры прижимают крышку к корпусу установки, происходит процесс вакуумизации, обезгаживания и нанесения многослойного радиоотражающего покрытия на поверхность рефлектора согласно технологической карте, записанной в память управляющего контроллера.
  • В состав внутрикамерной оснастки входят 15 плазменных устройств: три ионных источника с замкнутым дрейфом электронов для очистки и модификации поверхности рефлектора перед нанесением покрытия и 9 планарных магнетронов, которые позволяют наносить трехслойное покрытие ( NiCr-Al-SiO2).
  • Конструкция внурикамерной оснастки позволяет оперативно перестраивать ее для металлизации рефлекторов различной формы и размеров.
  • Установка КО МКР снабжена системой автоматического нагрева рефлектора до заданной температуры и стабилизации ее с точностью не хуже 2 ̊ С. Контроль температуры осуществляется двумя независимыми системами: с помощью 4 инфракрасных пирометров и 24 термометров сопротивления, информация с которых беспроводным методом передается на экран монитора управляющей системы.
  • Система автоматического управления установки КО МКР выполняет функции контроля и управления работой вакуумной системы и технологическими параметрами обработки изделий, и представляет собой аппаратно-программный комплекс, обеспечивающий различные режимы работы установки.
  • Установка КО МКР обеспечивает нанесение радиоотражающего покрытия заданной толщины с равномерностью не хуже 5% , с адгезией не менее 60 кг/см2 и коэффициентом отражения на частотах 24 и 33 ГГц не хуже 98%.
Работа "Установка для радиационной и плазменной обработки рефлекторов спутников космического базирования КО МКР" признана научным советом РАН по проблеме "Радиационная физика твердого тела" важнейшим результатом в 2011г.