Дата и время

Комплект вакуумно-плазменного оборудование КВО


Комплект предназначен для ознакомления и обучения студентов методам нанесения модифицирующих плазменных покрытий на поверхность твердых тел, принципом работы вакуумной системы, а также проведения учебно-исследовательских и научно-исследовательских работ студентов.

Slide 1
Внешний вид установки КВО
Slide 2
Внешний вид установки КВО
Slide 3
Стойка управления установки КВО


Основные технические характеристики установки КВО


Параметр Величина
Объем РК, м3 0.2
Предельное остаточное давление рабочей камеры, Па 5.0x10-4
Напряжение питания магнетронов, В 1000
Максимальный ток магнетронного разряда, А 8
Ускоряющее напряжение ионного источника очистки, кВ 2
Ток ионного пучка, А 0.1-2
Материал катода Немагнитные металлы и сплавы
Число каналов подачи рабочего газа, шт. 3
Напряжение питающей сети, 3 фазы, 50,60 Гц, В 380 x 220
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт 15
Расход охлаждающей воды, м3/час 0.5
Расход рабочего газа, л/час 1-3
Максимальная потребляемая мощность установки, кВт

15

Габаритные размеры, в плане:
Вакуумная камера (с опорным основанием), мм
Шкаф управления, мм

1650 x 800
600 x 800
Высота:
Вакуумная камера, мм
Шкаф управления, мм
2300
1600
Масса установки, кг 600
Установочная площадь с зоной обслуживания, м2 14
Введена в эксплуатацию в 2007 г.